高效過濾器安裝後檢漏必須注意的相關事項
高效過濾器現場安裝以後檢漏是確認高效過濾器及配套的安裝靜壓箱，現場安裝以後檢漏是確認高效過濾器及配套的安裝靜壓箱，沒有發現泄漏或微量泄漏是在規範允許的範圍之內。
如果高效過濾器裝置經檢漏是合格的，可以確保潔淨室的安全可靠的運行，如此時室內潔淨度仍未達標，應從潔淨室的其它方面查找原因。
高效過濾器安裝後的檢漏不同于過濾器廠家在工廠裏的效率測試。後者僅對過濾器的效率和其它相關性能測試，而前者涉及高效過濾器和安裝過程中相關的多種因素而產生的泄漏。
檢漏時，從高效過濾器的上風側引入氣溶膠，並同時在高效過濾器的下風側進行掃描檢漏，以檢漏高效過濾器的過濾介質，密封膠過濾器框架，密封墊片等處有無泄漏。
在檢測中，如果室內幹擾因素太多，爲排除幹擾，可在風口出口加隔離罩，在罩內進行檢測，這樣檢測的數據較爲准確。
尤其要注意的是，在過濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的幹擾，要避免箱體上的積灰幹擾，尤其是采樣口不能接觸高效 風口箱體或過濾器的框架。
在高效過濾器上風側發DOP 檢漏時，在高效過濾器的上風側必須設有 DOP 的導入裝置及濃度檢測管。這兩個管子也可以用來檢測過濾器的阻力。
結論
（1）高效過濾器安裝以後必須要進行檢漏；
（2）要計算 DOP 的發塵量及系統風量，確定DOP 導入地點；
（3）要測量高效過濾器上遊的粒子濃度；
（4）根據規範按 0.5μm 的粒徑來檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標准來確定 K 值；
（5）采用 28.3 L/min 的粒子計數器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計數器，必須控制掃描速度。
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